真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量大大提高。与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
真空热处理不仅可实现钢件的无氧化、无脱碳，而且还可以实现生产的无污染和工件的少畸变，因而它还属于清洁和精密生产技术范畴。
小型真空热处理炉适用于高速钢、不锈钢、模具钢等一些淬透性比较好的材料的真空热处理，特点是零件变形量小、零件热处理后不需要清洗。不足之处有淬火气体不能回收、成本较高。真空高压气淬炉从结构上可分为卧式和立式两种。卧式可分为单室、双室和三室等。
小型真空热处理炉的自动化程度之所以较高，是因为金属工件的加热、冷却等操作，需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作内在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。同时，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须六个动作并且要在15秒钟以内完成。在这样迅速的条件来完成许多动作，是很容易造成操作人员的紧张而构成误操作。因此，只有较高的自动化才能准确、及时按程序协调动。
热处理炉根据零件材料可选择中高温和低温，（中高温800℃～1350℃、低温800℃）。
